半导体制造环境的EMI评估

随着半导体产业快速发展，半导体制程设备的电磁干扰问题日益渐显，EMI不仅影响设备本身的正常运行，还会对周边电子设备造成干扰，损坏敏感设备。

阻止电磁干扰的传播就是减少电磁干扰影响的最有效方法之一，ECMG依据SEMI E176标准要求精确测量和评估半导体设备在生产过程中产生的电磁干扰，改善设备减少过度EMI 影响，提高设备性能。ECMG已有齐全测试仪器及工程人员经验来配合设备厂商进行测试评估。