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SEMI F47认证

什么是SEMI F47电压暂降?

 

半导体行业为了降低机电危险的风险,采用非常多类别的防制与管理措施,其中最典型的措施是FAB厂在采购装备时,将SEMI S2安规认证,SEMI F47电压暂降认证列为必备的规格要求;在这里主要给大家解析什么是SEMI F47电压暂降,希望装备厂商在实施前对此有所了解。

SEMI F47 半导体设备电压暂降抗扰度测试规格

Specification for semiconductor processing equipment voltage sag immunity

 

具体测试规格:

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电源输入每相之间实施50%的额定电压,如50Hz,周期时间为20ms,10 cycles,1次测试时间为200ms,观察设备是否有跳断、中断等异常情况;

电源输入每相之间实施70%的额定电压,如50Hz,周期时间为20ms,25 cycles,1次测试时间为500ms,观察设备是否有跳断、中断等异常情况;

电源输入每相之间实施80%的额定电压,如50Hz,周期时间为20ms,50 cycles,1次测试时间为1000ms,观察设备是否有跳断、中断等异常情况;

简单说就是在电源输入在50%,70%,80%波动时,看装备是否具备耐受性;

SEMI F47 IPC电压暂降测试设备是特制的,是由美国PSL电力标准实验室提供,测试人员需要具备资格证书;

IPC电压暂降发生器基于相关国际标准开发,能够在交流回路上产生精确、受控的电压波动,主要用于根据相关标准测试各种负载对电压波动的免疫能力,并为改善其对电压波动免疫能力提供技术数据支持。 各种测试规格如SEMI F47已经在测试设备内部设定完整;

1 主要功能及特点

1.1 IPC工业用电压暂降发生器(压降发生器)是一种移动式电气装置;

1.2 能够对单相、三相三角形和三相星形系统产生电压暂降和暂升,无需任何外部变压器。

1.3 压降发生器能够在100伏到480伏之间的任意标称电压下正常工作。

1.4 压降发生器可以提供每相有效值200安培的连续电流,并且能够对每相提供600安培的峰值电流。峰值冲击电流驱动能力1000A瞬时。

1.5 压降发生器产生的相-相电压暂降是真实的相-相,而不是用两个相-中电压暂降模拟的。

1.6测试条件设备自动设置

 

2 技术参数和性能要求

2.1 电压暂降和暂升特性:  

压降发生器能够以2.5%的间隔产生0-100%工作电压的电压暂降,也能够以2.5%的间隔产生100-125%的电压暂升,且能够产生高阻值的电压中断。  

发生暂降期间,非暂降相的电压变化在正负10%以内。  

电压暂降和暂升的持续时间是可编程的:最短持续时间是1个周波(对应于50Hz是20ms),最长不短于30秒,在两者之间可灵活调整,调整步长为1个周波。  

压降发生器能够在可编程的相角开始产生电压暂降(0-360度,以5度为步长)。

当电压暂降或电压暂升开始和结束时,在电压和电流方面不能有断点。  

根据IEC 61000-4-34的测量方法,电压暂降和暂升适用于一相-中,或者一相-另外一相。

2.2 数据记录 采样分辨率:12位以上。  

压降发生器应该记录如下波形和有效值读数:所有相-相和相-中输入电压、相-相和相-中输出电压、相输入电流和相输出电流;记录包括每次电压暂降和暂升的之前、之中和之后的数据,测试曲线图设备自动生成;

 

 

Test Plot For Voltage and current waveforms:

Voltage waveform 10 cycle sag to 50  


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Voltage waveform 25 cycle sag to 70


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Voltage waveform 50 cycle sag to 80 


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ECMG拥有国内最具经验的SEMI团队,拥有符合SEMI F47要求的测试设备及经验丰富且具备测试资格的工程人员,根据SEMI F47标准协助机械制造商完成电压暂降测试测试。所有测试及技术支持都在本地完成,可以第一时间响应客户的要求。