针对半导体制程设备能源,应用和材质的使用功效

半导体制造设备属于高精密制造设备，使用过程中需要产生洁净空间、恒温、高温、高压、真空、强电磁场、吹扫、冷却等复杂工况。且核心设备几乎是全年365天、全天24小时运转，这些情况无疑会带来惊人的能耗。因此，设备能效已成为晶圆厂首先考虑的重要指标之一，SEMI S23 标准是评估半导体设备能效的标准，根据标准，将不同模式下各动力的能源消耗量，通过相应的转换系数，换算成等效的电能，可以计算出设备的能耗量从而来改善设备能耗。

ECMG符合SEMI S23标准要求的测试仪器以及工程人员拥有多年的丰富经验，可协助设备厂商完成SEMI S23认证。