半导体设备环境、健康、安全
【SEMI标准简介】
半导体行业为了降低危险的风险，采用非常多类别的防制与管理措施，其中最典型的措施是在采购设备系统时，将SEMI S2安规认证列为必备的规格要求，符合SEMI要求不仅符合了国际相关规定，也是半导体产业的保险公司所要求的必要条件之一。
SEMI(半导体设备与材料的国际性组织)是半导体工业的全球执行联盟，成立于1970年，总部位于美国加州。
SEMI S2是针对制程设备供货商所规范的基本健康和安全要求安全标准。
SEMI S2以效能考量为主，涵盖半导体制造设备的环境、健康及案件条件。具体来说，该标准涉及电气、机械、防火、化学、辐射、噪音和防震等各方面的安全领域，代表了半导体厂家的基本安全要求。
【SEMI S2 认证涵盖相关标准内容】
SEMI S1 | 装置安全标签的安全指南 Safety Guideline for Equipment Safety Labels |
SEMI S2 | 半导体生产装置的环境、健康、安全 Environmental, Health, and Safety Guideline for Semiconductor Manufacturing Equipment |
SEMI S3 | 过程液体加热系统的安全性 Safety Guideline for Process Liquid Heating Systems |
SEMI S8 | 半导体生产装置的人机工程学 Safety Guidelines for Ergonomics Engineering of Semiconductor Manufacturing Equipment |
SEMI S10 | 风险评估和过程安全指南 Safety Guideline for Risk Assessmentand Risk Evaluation Process |
SEMI S13 | 为半导体设备用户提供的关于环境，健康和安全指南的文件 Environmental, Health and Safety Guideline for Documents Provided to the Equipment User for Use With Manufacturing Equipment. |
SEMI S14 | 对半导体生产装置的火灾风险评估和降低的安全指南 Safety Guidelines for Fire Risk Assessment and Mitigation for |
SEMI S22 | 半导体生产装置的电气设计安全指南 Safety Guideline for the Electrical Design of Semiconductor Manufacturing Equipment |
【为什么要做SEMI S2认证?】
用于加工芯片或平板的半导体生产线,都由数以百计的半导体工艺设备构成,形成一条自动化的生产线。半导体设备本身在工作过程中会存在众多危害（能量危害，触电危害，高温危害，机械危害，噪音危害，人体健康危害……），生产线的危害会随着设备数量逐倍增加，可能会给终端厂带来难以计数的损失。
为此，半导体协会制定了SEMI标准，希望能预防并降低危害，从而达到安全生产。目前国内外晶圆厂、平板厂对于新进设备均提出必须通过SEMI S2认证要求，从而来判定设备安全性，减少风险损失，提高产能。
【SEMI S2认证流程】
ECMG对于SEMI认证已有10+年经验，有着最具经验的SEMI认证团队以及SEMI认证所需的专业测试仪器，服务国内众多半导体厂商，出具的SEMI证书可被长江存储、合肥长鑫、华润微等晶圆厂接受认可。
