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SEMI S2认证

SEMI 全称:Semiconductor Equipment and Materials International 

半导体行业为了降低危险的风险,采用非常多类别的防制与管理措施,其中最典型的措施是在采购设备系统时,将SEMI S2安规认证列为必备的规格要求,符合SEMI要求不仅符合了国际相关规定,也是半导体产业的保险公司所要求的必要条件之一

SEMI(半导体设备与材料的国际性组织)是半导体工业的全球执行联盟,成立于1970年,总部位于美国加州。

SEMI S2是针对制程设备供货商所规范的基本健康和安全要求安全标准。

SEMI S2以效能考量为主,涵盖半导体制造设备的环境、健康及案件条件.具体来说,该标准涉及电气、机械、防火、化学、辐射、噪音和防震等各方面的安全领域,代表了半导体厂家的基本安全要求。


一, SEMI S2认证主要针对半导体、泛半导体制程工艺以及辅助设备

设备类型示例如下

1, PVD  

2, CVD

3, MOCVD  

4, 刻蚀机

5, 离子注入机       

6, 特气柜   

   7,尾气处理设备 

   8CDS设备    

                     9,  探针台          

                    10,伺服驱动        

                    11,机械手臂   

      12EFEM        

      13,清洗机             

            14,晶圆分选机wafer sorter 

                     15,温度控制系统

                     16,冷水机

                 。。。。。。。

 

二,SEMI S2 相关标准


SEMI S1

装置安全标签的安全指南

Safety Guideline for Equipment Safety Labels

SEMI S2

半导体生产装置的环境、健康、安全

Environmental, Health, and Safety Guideline for Semiconductor Manufacturing Equipment

SEMI S8

半导体生产装置的人机工程学

Safety Guidelines for Ergonomics Engineering of Semiconductor Manufacturing Equipment

SEMI S10

风险评估和过程安全指南

Safety Guideline for Risk Assessment and Risk Evaluation Process

SEMI S13

半导体设备用户提供的关于环境,健康和安全指南的文件

Environmental, Health and Safety Guideline for Documents Provided to  the Equipment User for Use With Manufacturing Equipment. 

SEMI S14

对半导体生产装置的火灾风险评估和降低的安全指南

Safety Guidelines for Fire Risk Assessment and Mitigation for

Semiconductor Manufacturing Equipment

SEMI S22

半导体生产装置的电气设计安全指南

Safety Guideline for the Electrical Design of Semiconductor Manufacturing Equipment

 

 

三,SEMI S2认证流程


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四,为什么要做SEMI S2认证?

用于加工芯片或平板的半导体生产线, 都由数以百计的半导体工艺设备构成, 形成一条自动化的生产线。半导体设备本身在工作过程中会存在众多危害,生产线的危害会随着设备数量逐倍增加。

为此,半导体协会制定了一系列的标准,就是希望能预防并降低如下的危害,从而达到安全生产。

设备存在的危害如下:

1, 能量危害

2, 触电危害

3, 高温危害

4, 火灾危害

5, 机械危害

6, 化学危害

7, 噪音危害

8, 辐射危害

9, 人体健康危害

10, 电压暂降危害(对产能的影响)

 

1,火灾危害

根据美国国家职业安全卫生研究所(National Institute for Occupational Safety and Health,NIOSH)对于2001~2005年期间就美国工业火灾进行调查,分析发现,其主要引火源形成的原因及造成火灾危害之比例如下:电气火灾19%、机器摩擦火灾14%、化学品火灾12%、直接火焰9%、自然火灾8%、热表面火灾7%、静电火灾2%等。而近来尤以印刷电路板业及太阳能光电产业过去连续发生好几起火灾事故,最引起国人及产业者关注。


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2,触电危害

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3,高温危害

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4,辐射危害

惊爆!首尔半导体突发X光设备辐射泄露事故!

 

韩国原子力安全委员会16日表示首尔半导体发生放射线辐射事故,正进行调查,放射线装置使用申报公司首尔半导体劳务公司职员6名被放射线辐射,6名中的2名已经出现手指疼痛和红斑等症状,受辐射的6名均为首尔半导体劳务公司职员,正在韩国原子力医学院接受检查和治疗。6名中的4名员工暂无异常症状,但2名已经开始有线斑、疼痛,热疳等局部辐射后的症状,他们正在接受精密检查。

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5,人体健康危害

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6,化学危害

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三星韩国半导体厂出现化学泄漏致1死4伤

发布时间:2013-01-30

1月29日消息,据法新社1月29日报道,三星集团29日表示,其在韩国的一家半导体工厂27日发生有毒气体泄漏事故,该事故导致1名工人死亡,4名工人受伤。

该半导体厂位于华城(距离首尔西南部43公里)。三星发言人告诉法新社,27日晚,这5名工人在半导体厂试图解决稀氢氟酸漏问题。其中一名工人因喉咙与脑部受伤,于28日被送往医院接受治疗,但是不久后逝世。另外4名工人在医院接受治疗后已被 批准出院,事发工厂泄漏了大概3公升的稀氢氟酸,该泄漏事故于28日早晨得到控制。

 

氢氟酸灼伤手恐截肢


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南科台积电18厂工安意外1人救回命危,1工人仍不治。





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南科台积电18厂新建工程工地,23日下午两半左右传出工安意外,两名在超纯水桶槽上方实施桶槽作业的工人,疑似因吸入氮气昏迷,消防人员到现场救援时,两人已无呼吸心跳,紧急实施心肺復术并送医抢救。

送往麻豆新楼医院28岁的李姓工人,急救无效,下午5点39分宣告不治:送往安南医院的43岁江姓工人,经抢救后恢復呼吸心跳,但仍昏迷,没有意识,还在抢救中。

南科管理表示,台积18厂新建工程有两名员工发生工安意外,分别为奥珞佳科技公司28岁李姓监工,以及下包商中信玻璃公司43岁江姓作业工人,管理局接获通报后,第一时间即派员至现场实施劳检,灾害现场停工两星期,并进一步理清氮气外泄原因。