SEMI标准简介

SEMI成立50年来，一直致力于国际标准的制定。SEMI全球有1300000多名志愿者、来自2260多家公司投身于SEMI国际产业技术标准活动，他们分别来自美洲、欧洲、日本、韩国、中国大陆及台湾地区等地，代表着全球各地产业的呼声和需求。目前SEMI全球已成立了20个标准佳委员会及216个工作小组为推动全球产业标准的制定贡目前已经制定了高达1010项、16大类的标准及安全相关准则，并广为全球IDM厂、晶圆厂、封装测试厂等应用。

SEMI S系列标准介绍

半导体设备SEMI认证评估是根据SEMI国际标准环境健康和安全委员会（ EHS TC）制定的S系列全球性行业标准和准则，适用于半导体材料和制造设备，是半导体业界对设备的必备规格要求，可有效降低危害风险。SEMI S系列标准最早诞生于1986年，其中SEMI S2于1991年发布出版，经过历年更新修订，2018年12月发布最新英文版本S2-0818E。半导体行业为了降低危险，采用非常多类别的防制与管理措施，SEMI S系列标准旨在为半导体生设备提供环境、健康、安全方面的导则。内容涵盖半导体设备安装指导、废气处理、危险警告标签、液体加热系统、通风排气、资质评估、人机工程、危险评估、生产设备净化、安全指导手册、防火安全、安全联锁系统电子设计、电离辐射、激光辐射等级、噪音污染等级，SEMI标准被广泛应用于半导体产品的生产、测试、集成。其中最典型的措施是在采购设备系统时，将SEMI S2安规认证、SEMI F47电压暂降、SEMI S23能效列为必备的规格要.

SEMI标准认证的重要性：

SEMI S系列标准对半导体行业的安全和可持续发展具有深远的影响力。符合SEMI要求不仅符合了国际相关规定，也是主流芯片制造商引进机台设备的主要判别安全标准隹。SEMI认证已得到国际晶圆大厂Intel、TSMC、TEL等普遍认可，SEMI认证已成为国际通行并被产业链广泛认可的通行证。国际晶圆厂家均要求设备及子系统厂商提供SEMI标准认证证书。中国本土领先半导体厂商 NAURA、SME、AMEC等均已通过SEMI认证。符合SEMI标准不仅符合了国际相关规定，也是半导体产业的必要条件之一.

SEMI S2设备安全评估:

SEMI S2针对半导体制造设备的环境、健康及安全标准要求，涉及电气、机械、防火、化学、辐射、噪音、防震等各方面的安全领域，代表了全球半导体行业的基本安全要求。

SEMI S6半导体制造设备排气通风的标准:

排气通风若设计不合理，可能会造成人员伤亡、设备乃至整个工厂烧毁。设备供应商应提供有效设计的排气通风，以保护人员、设备和环境免受风险，排气通风的优化非常重要。

SEMI F47半导体制程设备电压跌落抗扰度测试:

会球半导体制造业每年因电压跌落造成的经济损失超过1亿美元，为避免半导体制程中90%以上因电源压降产生的风脸.